一氧化硅蒸镀材料在包装材料上的应用

蒸镀材料有很多种材料，通常有金属、复合材料和其他一些新型材料。一氧化硅也是常用的蒸镀材料之一，目前一氧化硅蒸镀材料用于在食品、药品、医疗用品等的包装用薄膜材料上形成具有优良阻气性的硅氧化物蒸镀膜，特别是涉及可以有效制造前述蒸镀材料，而且在薄膜材料上形成蒸镀膜时降低或防止产生飞溅现象，可以形成高质量、高纯度的硅氧化物蒸镀膜的一氧化硅蒸镀材料及其制造方法和制造装置。

另外，对于药品、医疗用品，需要以更高的标准抑制内容物受到来自气氛的污染、变质和劣化，而且需要蒸镀膜本身达到不含不纯物的高纯度化。用于保护这些食品、药品、医疗用品等的包装用材料，需要具有阻止引起内容物氧化的各种气体透过的阻气性，以往使用了例如在纸或高分子薄膜上具有铝箔或铝蒸镀膜的包装材料。

如今，在进行包装材料的再循环过程中，为了再利用前述具有铝箔或铝蒸镀膜的包装材料而需要进行金属与纸或树脂薄膜的分离，因此需要开发由不需要分离回收的材料构成的包装材料。

例如，在高分子薄膜上形成一氧化硅蒸镀膜的包装材料，不仅可以只作为树脂薄膜回收处理，而且一氧化硅蒸镀膜具有优良的阻气性，因而受到了重视。这种包装材料是通过电阻加热蒸镀法或电子束加热蒸镀法使一氧化硅蒸镀材料升华，将升华的气体蒸镀在高分子薄膜上制造的。