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ELEGRIP TAPE贴背研磨胶带材料

ELEGRIP TAPE贴背研磨胶带被用于在对晶圆的背面进行研削(贴背研磨)时,保护电路面以回避外界异物所造成的损伤,崩裂、裂纹(开裂)以及脏污等的污染。随着晶圆的大口径化、薄型化以及高凸块设计的开发,对胶带所要求的主要特点为:①低污染、②对晶圆的追从性、③容易剥离这些方面。ELEGRIPTAPE满足这些要求事项,再加上由于它是非水溶性型,耐水环境,不需要进行清洗。

特点

  • 对电路面等凸凹的晶圆具有优良的粘附性

  • 防止尘埃的发生

  • 对背面进行研削时,对水环境具有超群的研削精度(TTV)

  • 具有优良的易剥离性

  • 抑制粘附力随时间的变化

贴背研磨胶带材料

贴背研磨胶带材料