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高纯度溅射靶材粒子喷射云技术

高纯度溅射靶材在模型的基础上,着重在运动分形范式下等离子体热能(温度)和离子物理性质(质量)对复杂合金等离子体空间分布的影响。通常用于模拟复杂系统动力学的模型是基于物理变量可微性的假设(如密度、动量、能量等,及其定义的过程。高纯度溅射靶材这些方法的实用性是可以被连续接受的,在仍然考虑可微性的时空域中。然而,当面对复杂物理系统(如PLD中的等离子体羽流膨胀)的现实时,差分方法往往会失败。

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高纯度溅射靶材为了更好地表示局部和全局尺度上的大多数相互作用,需要明确地引入尺度分辨率依赖性。这带来了一个新的物理系统,以前只依赖于空间和时间的动态变化,现在将明确地包含对尺度分辨率的依赖。这可以更加抽象,而不是使用非微分函数,承认相当难实现,只是利用这些多重分形数学函数的不同近似,通过在不同的尺度分辨率下平均得到。这种近似的一个重要结果是,任何动态变量都表现为特定函数族的极限,这些函数族在零尺度分辨率下是不可微的(多重分形函数)。

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高纯度溅射靶材在研究粒子喷射云时,理想的研究技术应该是非侵入性的,并提供关于等离子体成分的全局和局部信息。这种技术可以认为是ICCD快速相机成像和时空分辨光学发射光谱技术的结合,许多公司研究人员一直在使用这种技术,也得到了大量验证。合金材料公司的方法是全局-局部的,这意味着首先要收集LPP的全局发射(在300-700 nm范围内)。Fe-Mn-Si激光产生的等离子体的结果如图1所示,通过展示了LPP在2μs时间间隔内膨胀过程中的选定图像。


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