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溅射靶材制造对金属材料纯度有哪些要求

溅射靶材制造对金属材料纯度的要求很高,需要通过化学提纯与物理提纯结合以最大限度地剔除杂质,才能投入后续使用。溅射靶材产业链基本呈金字塔型分布。产业链主要包括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用等环节,其中,靶材制造和溅射镀膜环节是整个溅射靶材产业链中的关键环节。

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许多国家虽然拥有生产溅射靶材所需的各种基础矿源,但金属提纯技术有限,提纯出来的金属材料绝大部分达不到高纯溅射靶材的生产要求,长期以来,中国厂商主要通过从国外进口获得高纯金属供给。而高纯金属产业集中度较高,发达等国家的高纯金属生产商依托先进的提纯技术在整个产业链中居于十分有利的地位。

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首先需要根据下游应用领域的性能需求进行工艺设计,然后进行反复的塑性变形、热处理,需要精确地控制晶粒、晶向等关键指标,再经过焊接、机械加工、清洗干燥、真空包装等工序。靶材制造涉及的工序精细繁多,技术门槛高、设备投资大,而工序流程管理及制造工艺水平将直接影响到溅射靶材的质量和良品率,因此,具有规模化生产能力的企业数量相对较少。


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